前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱優化光刻膠的光學吸收特性，提高光刻膠對襯底的黏附性
前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱用途
前烘可在熱烘板或氮氣烘箱中進行,本課題采用的熱風烘箱為雋思氮氣潔凈烘箱，由于在鼓風烘箱中對流烘烤將會使前烘進行的更加均勻，所以在鼓風箱中前烘的效果將會更理想。
前烘是在涂膠結束后進行,它的作用有以下幾個方面
驅趕膠中的溶劑
提高膠對襯底的黏附性
提高膠的抗腐蝕能力
優化膠的光學吸收特性
提高涂膠的均勻性
提高條寬控制能力
通過前烘，基片上的光刻膠基本固化。
前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱性能：
潔凈度：Class100;
溫度：RT+15～200℃；
氣體：N2
計時功能：0-99H99M99S
設備材質：內部SUS304不銹鋼
工作尺寸（mm）：
450×450×450
500×500×550
（可定制）
網板：活動式2塊
前烘氮氣烘箱，潔凈烘箱適用性：
氮氣烘箱也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫藥、實驗室等生產及科研.
真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱技術參數
溫度范圍： RT ～300/450/550℃；
溫度波動度：≤±1℃
升溫速度：0-10℃/min；
降溫方式：自然降溫或風冷+水冷降溫
氮氣控制： 可調試流量計控制
氧含量檢測：20～1000ppm
工作尺寸：W350×H350×D400,
高溫無氧真空烘箱溫控系統：
操作界面：人機界面+PLC，可一鍵運行，多個工藝編輯；
溫度測量：K型熱偶；
控制儀表：高精度溫度控制器，PID調節，控制精度0.1℃，
