硅片充氮烘箱，半導體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構，全部采用無塵材料，箱內持續(xù)充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態(tài)。工作室內溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。
硅片充氮烘箱，半導體充氮烤箱概述
硅片充氮烘箱，半導體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構，全部采用無塵材料，箱內持續(xù)充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態(tài)。工作室內溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。
特點
1、全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
2、耐高溫，可以達到和工作場所同樣的潔凈等級；
技術參數
1、主要技術指標
Ø 溫度范圍： RT（室溫）+10～200℃；
Ø 溫度偏差：≤±2.0℃；
Ø 升溫速度：≥2℃/min；
Ø 潔凈等級：千級以上
Ø 計時功能：具有獨立的計時器，計時開關，計時報警器
2、箱體結構
Ø 箱體材料：外箱采用優(yōu)質冷軋板烤漆；
Ø 內室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼；
Ø 保溫材料：超細玻璃棉；
Ø 排 氣 口：ф50；
Ø 隔 板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG；
Ø 空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機；
Ø 加熱方式：不銹鋼電加熱器；
3、溫控系統
Ø 溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；
Ø 控制儀表：日本富士溫度控制器，PID調節(jié)，控制精度0.1℃；
Ø 超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統，保證試驗品的安全；
Ø 控制系統：主要電器件均采用施耐德、歐姆龍等進口元氣件
