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硅片無氧烘箱,半導體厭氧烤箱 工業烘箱

硅片無氧烘箱,半導體厭氧烤箱 工業烘箱

簡要描述:

硅片無氧烘箱,半導體厭氧烤箱,在工作時,工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……

硅片無氧烘箱,半導體厭氧烤箱? 概述

硅片無氧烘箱,半導體厭氧烤箱,在工作時,工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……

 

技術參數

主要技術指標

Ø  含氧量:< 100ppm;

Ø  溫度范圍: RT(室溫)+10~ +200℃;

Ø  溫度均勻度:±1℃;

Ø  溫度波動度:±0.5℃(空載)

Ø  溫控精度:0.1℃

箱體結構

烘箱擱板為活動形式。

Ø  溫控裝置:智能LED雙數顯高精度溫度控制系統,控溫精度±1℃,溫度為室溫至300℃任意調節,并具有PID自整定,自動恒溫等功能

Ø  超溫保護:獨立配置超溫保護儀,超過溫度上限,自動報警并主動切斷加熱

Ø  固態輸出:SSR無觸點繼電器模塊,靈敏度高,壽命長

Ø  測溫裝置:不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器,精確測溫,放心使用

Ø  定時裝置:高精度數顯自動定時器,0-99.99小時恒溫時間設定,可預設烘烤時間

Ø  報警系統:APT/AD16型聲光報警系統,時間到聲光報警并自動切斷加熱

Ø  電器元件:采用電器

Ø  安全裝置:漏電,短路,過載保護;鼓風電機過載缺相保護

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