電子無塵烤箱，電子潔凈烘箱 晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結構，而成為有特定電性功能之IC產品。一般是芯片電路設計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個工藝中晶圓烘烤工藝也很重要，且需要多次烘烤。
電子無塵烤箱，電子潔凈烘箱的應用：
晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結構，而成為有特定電性功能之IC產品。一般是芯片電路設計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個工藝中晶圓烘烤工藝也很重要，且需要多次烘烤。
電子無塵烤箱，電子潔凈烘箱的組成：
烘烤工作室：需烘烤的產品放置區；
潔凈室：高效過濾器凈化工作室內空氣，達到class100潔凈度；
控制部分：溫度、時間、記錄、溫度檢測、烤箱開關等操作區；
電器箱：無塵烤箱電器部分，電子元件等安裝區；
其他：氮氣接口，排風閥門，掃碼槍等。
電子無塵烤箱技術性能：
溫度范圍：RT+10～200、300/450℃；
升溫速率：≥5℃/min（可定制）；
溫度均勻度：±1.5%℃;
溫度波動度：±0.5；
溫控精度：0.1℃;
時間設定范圍：0.1S-9999H；
內腔數量：單腔，上下層雙腔體，四腔體等；
腔內分層：2層或多層
內箱材料:SUS304鏡面不銹鋼制作；
外箱材料：優質冷軋板噴塑或#304鏡面不銹鋼制作；
密封材料：密封條采用硅膠膠條制作，可耐溫不變形，；
保溫材料；阻燃陶瓷纖維。
外殼溫度：在 200℃以內，不高于室溫+15℃，門周邊接接縫處除外。
