無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱無塵等級：Class 100、10; 溫度范圍：RT+10～300℃；用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤
無塵烤箱特點
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，優良的溫度控制精度。
無塵烤箱應用
用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
技術指標
無塵等級：Class 100、10;
溫度范圍：RT+10～300℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：W1600×D1600×H1000（mm） （可定做）
電源：380v , 50Hz，6KW
網板：2塊（高度可調節)
維護保養
1． 檢查通風口是否堵塞，并清理積塵。
2． 風機運轉是否正常。
3． 維修工檢查電流是否正常。
4． 檢查溫控器是否準確，如不準確，請調整溫控器的靜態補償或傳感器修正值。
5． 檢查發熱管有無損壞，線路是否老化。
6． 檢查延時器是否準確，誤差是否允許。
